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高精度激光长度测量干涉仪

2014/11/13 20:21:44  来源:计测网通讯员 
字号: 13号字 16号字

  自从激光器问世以来,特别是近几年德频激光器付之实用后,干涉精密测量取得了重大的进展。目前,激光干涉系统已广泛应用于长度、角度、直线度、平行度、平面度、两轴正交性、光洁度等几何量的精密测量,机械加工中工件尺寸的控制和切削参数的测量,精密机床、坐标测量机的校正,集成电路制作中的精密定位,以及振动、速度、加速度、重力、压力、材料线膨胀系数等物理量的精密测定。本文叙述几种新的高精度激光长度测量干涉仪,这些干涉系统当然也可以应用于其它精密测量领域。

  条纹计数干涉仪

  

  

  如图1所示,从稳频激光器发出的激光束被分光器分成参考光束和测量光束两路。在参考光路中插入一块半波片,而在由分光器反射的接收光路中加置一块偏振分光器。这样,由  探测器1、2、3得到三个彼此正交的信号。经放大器放大后送入差分电路,得到两个正交信号。然后送入可逆计数器进行计数、辨向和细分。这样设计的干涉仪能大大抑制杂光、电  子设备的漂移和噪声的影响。因此,测量精度达0.1微米,而且甚至在干涉仪一臂中光强减户少95%仍能正常维持条纹的计数。可动反射器的移动速度最大允许达300毫米/秒.

  

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